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  • In-line PVD

In-line PVD

기판이 여러 개의 스퍼터 캐소드를 선형으로 통과하면서
박막을 증착하는 시스템으로 대형, 대용량, 저비용에 최적화된 장치

  • In-Line Sputtering System
    (For Power Semiconductor)

    • World First AMB Tool for Mass Production (Thin Film)
    • High Productivity
    • Double-Sided Sputtering
    • Linear Moving Magnet Transfer
    • Vacuum Maglev Transfer Module
      - Low Vibration and Low Particle
      - Precision Control
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