2025

• 02 12" Single Cluster Sputtering System NxT-300S PVD 공급
• 03 In-Line Sputtering System for Power Device 개발
• 04 전력반도체 방열기판 (AMB) In-Line Sputter 수주
• 05 12" AlF Coating 用 NxT-320 PECVD 공급

2024

• 04 8" Thin Wafer 用 BACO NxT-200 PVD 공급
• 05 8" 전력반도체 用 BACO NxT-200 PVD 공급 (유럽 진출)
• 06 4", 8" 用 BACO VMA-100, VMA-150 PVD 공급 (해외 ODA 사업)
• 08 12" Single Cluster Sputtering System NxT-300S PVD 개발

2023

• 03 12" AlF Coating 用 BACO NxT-320 PECVD 개발
• 04 8" 스마트 프로브카드 양산 用 BACO NxT-200 PVD 공급
  8" SiC 전력반도체 양산 用 BACO NxT-200 PVD 공급
• 04 초격차 1000+ 국가과제 수행 ('23 ~ '25)
  차세대 지능형 반도체 국가과제 수행 ('23 ~ '25)
• 05 Carbon Process 用 Sputtering System 개발
  EUV Blank Mask Ion Beam Deposition System 개발

2022

• 02 6", 8" Platform 자체 개발
• 03 Power Device 用 양산 설비 개발
• 04 8" 양산 用 BACO NxT-200, NxT-200S PVD Model 출시
  신규 Software & Scheduler 개발
• 05 ISO 9001:2015 품질경영시스템 인증
  ISO 14001:2015 환경경영시스템 인증

2021

• 02 8" Bumping 양산 用 BACO xT-200 PVD 공급
• 03 기업부설연구소 인증
• 04 소재·부품·장비 전문기업 인증

2020

• 02 12" DDI, WLP Process 用 BACO xT-300 PVD 양산 설비 공급
• 03 벤처기업 인증
• 04 8" Smart Probe Card 양산 用 BACO xT-200S PVD 공급
• 05 Y₂O₃ RAS Sputter 개발 및 공급
• 07 위험성평가 우수사업장 인증

2019

• 01 8" DDI, WLP Process 양산 用 BACO xT-200 PVD 공급
• 04 6" Power Device 用 BACO VMA-i6 PVD 공급
  *VMA = Variable Material Application

2018

• 01 8" Dual Cluster Sputtering System 개발
• 02 8"DDI, WLP Process 用 BACO xT-200 PVD 양산 설비 공급
  - Samsung 글로벌 파운드리 사업부 공정 승인
• 03 Sputtering System Service 계약 체결
  Cryopump Overhaul 계약 체결
• 05 8", 12" MCA Chuck Coating 用 BACO VMA-300S PVD 개발
  *VMA = Variable Material Application

2017

• 01 DDI Process 用 TiW, Au 공정 개발
• 02 12" Dual Cluster Sputtering System 개발
  자체 Software & Scheduler 개발
• 03 12" Bumping 양산 用 BACO xT-300 PVD 공급
  -Samsung, SK Hynix 공정 승인
• 05 Octa-Magnet Source 개발

2016

• 03 (주)바코솔루션 법인 전환
• 04 TiCN, DLC Coating 用 Equipment 개발

2015

• 02 Ti, Cu 用 공정 개발
• 06 In-Line TCO Sputtering System 개발 및 공급 (한국기초과학연구원)

2014

• 02 TCO, Oxide 用 공정 개발
• 07 Sputtering System Source Usage-Magnet 개발
• 11 Sputtering System VMA Source Assembly 개발
  *VMA = Variable Material Application

2013

• 08 바코솔루션 설립
• 10 반도체 장비 사업 시작
  VARIAN, AMAT, NOVELLUS PVD & CVD System, Parts 국산화